- 进口SU-8 2000系列SU-2075
详细信息
品牌:进口 型号:SU-2075 - 高分辨率:支持亚微米级图形转移,边缘粗糙度<50nm
- 化学惰性:耐受强酸、强碱及有机溶剂,可直接作为电镀绝缘层
- 三维兼容性:适用于非平面基板(如硅片、玻璃、PDMS等)
- 涂布均匀性:厚胶涂布易出现边缘隆起(需优化旋涂参数)
- 曝光控制:需精确控制曝光剂量以避免过曝/欠曝
- 显影残留:需采用专用显影液(如SU-8 Developer)
- 加速度计:制作硅微机械结构中的牺牲层
- 红外探测器:制备超材料吸收层(金纳米阵列)