• 进口SU-8 3000系列SU-83005

    详细信息

     品牌:进口  型号:SU-83005   
    厦门光刻胶     美国光刻胶
    • 粘度范围‌:SU-8 3000系列光刻胶的粘度通常较高,适合厚膜涂覆(单层厚度可达200μm以上)‌
    • 分辨率极限‌:在近紫外光(365-400nm)下可实现0.5μm的高分辨率,适用于高深宽比结构
    • 适用厚度‌:支持0.5μm至200μm的涂覆厚度,通过旋涂速度可精确调控‌

    • 耐化学性‌:对酸、碱及有机溶剂表现出优异稳定性,适合电镀和刻蚀工艺
    • 热稳定性‌:固化后可在-55℃至150℃范围内保持性能稳定‌

     

    • MEMS器件‌:用于制作高深宽比微结构(如加速度计陀螺仪),垂直侧壁精度达±1μm‌
    • 生物芯片‌:在微流控芯片中作为绝缘层,兼容PDMS键合工艺‌

    • TSV再布线‌:作为绝缘介质层,耐受电镀液渗透,避免溶胀问题‌
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