- 进口SU-8 3000系列SU-83005
详细信息
品牌:进口 型号:SU-83005 - 粘度范围:SU-8 3000系列光刻胶的粘度通常较高,适合厚膜涂覆(单层厚度可达200μm以上)
- 分辨率极限:在近紫外光(365-400nm)下可实现0.5μm的高分辨率,适用于高深宽比结构
- 适用厚度:支持0.5μm至200μm的涂覆厚度,通过旋涂速度可精确调控
- 耐化学性:对酸、碱及有机溶剂表现出优异稳定性,适合电镀和刻蚀工艺
- 热稳定性:固化后可在-55℃至150℃范围内保持性能稳定
- MEMS器件:用于制作高深宽比微结构(如加速度计陀螺仪),垂直侧壁精度达±1μm
- 生物芯片:在微流控芯片中作为绝缘层,兼容PDMS键合工艺
- TSV再布线:作为绝缘介质层,耐受电镀液渗透,避免溶胀问题