• 进口SU-8 3000系列SU-83010

    详细信息

     品牌:进口  型号:SU-83010   
    厦门光刻胶     美国光刻胶
    • MEMS制造‌:SU-8光刻胶广泛用于微机电系统(MEMS)的微结构制作,如悬臂梁、微流控通道等‌
    • 光刻工艺‌:适用于紫外光刻(UV lithography),尤其适合需要高深宽比结构的场景‌

    • 前烘(Soft Bake)‌:通常在65℃和95℃分阶段进行,以去除溶剂并增强附着力
    • 曝光与后烘(Post-Exposure Bake, PEB)‌:曝光后需进行后烘以促进交联反应,具体温度和时间需根据胶层厚度调整‌
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