- 进口SU-8 3000系列SU-83050
详细信息
品牌:进口 型号:SU-83050 - 粘度范围:SU-8 3000系列光刻胶的粘度范围较广,适合不同厚度的涂覆需求,但具体SU-83050的粘度值未在搜索结果中明确提及
- 分辨率:SU-8系列通常支持高分辨率成像,SU-83050在近紫外光(365-400nm)下曝光均匀,可实现垂直侧壁结构
- 厚度范围:单层涂覆厚度可达5-120μm,适合高深宽比(>5:1)结构制作
- 显影液:需使用SU-8专用显影液(如SU-8 Developer),显影时间需根据膜厚调整
- 耐温性:固化后可在150-200℃下进一步交联,提升热稳定性
型号 厚度范围 (μm) 深宽比 主要应用场景 基底粘附力 SU-83025 5-50 >5:1 微流体、光电器件 中等 SU-83050 50-120 >5:1 MEMS永久结构、芯片封装 较高(优于2000系列) SU-83075 75-200 >10:1 高深宽比MEMS结构 高