- 进口SPR220系列SPR220-3.0
详细信息
品牌:进口 型号:SPR220-3.0 - 高深宽比:光刻后侧壁陡直度接近90°,适合复杂微结构加工
- 耐蚀刻性:在湿法/干法蚀刻中均保持优异附着力
- 电镀兼容性:可直接进行金(Au)、铜(Cu)、镍铁(Ni/Fe)电镀,无开裂风险
- 射频器件:用于GaN HEMT的T型栅极制作(栅长100nm),提升截止频率30%
- BAW滤波器:通过剥离工艺制备铝电极(厚度500nm),实现Q值>2000
- TSV再布线层:支持5μm厚铜柱的lift-off工艺,解决电镀液渗透导致的溶胀问题
- 硅光芯片:制作光栅耦合器金反射镜(45°斜面结构),表面粗糙度<2nm
- 二维材料器件:无损制备石墨烯1-2-1接触电极(Cr/Au/Cr),迁移率保持>10,000 cm²/V·s1
- 纳米光子学:50nm金纳米棒阵列等离激元天线,实现场增强>100倍