- 进口SPR220系列SPR220-4.5
详细信息
品牌:进口 型号:SPR220-4.5 - 陀螺仪电极:制作50nm金电极阵列,台阶覆盖性≤10μm
- 压力传感器:支持Ni/Fe合金电镀,耐60MPa静水压
- TSV再布线:实现5μm厚铜柱的Lift-off工艺,解决电镀液渗透问题
- 2.5D/3D集成:用于硅中介层与芯片的微凸点制作
- 耐高温Lift-off:适用于GaN HEMT的T型栅极制作(栅长100nm)
- 双层胶工艺:作为底层胶与AZ 1500系列配合使用