- 进口SPR220系列SPR220-7.0
详细信息
品牌:进口 型号:SPR220-7.0 -
作为底层胶使用,配合AZ系列光刻胶实现金属剥离
▸ 案例:超导量子比特空气桥电极制作 -
MEMS器件
▸ 用于制造加速度计、陀螺仪的金电极阵列
▸ 优势:耐受后续深反应离子刻蚀(DRIE)工艺
- 二维材料器件
▸ 石墨烯接触电极的无损剥离(Cr/Au/Cr叠层)
▸ 关键参数:电极边缘粗糙度<5nm(AFM验证)
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品牌:进口 | 型号:SPR220-7.0 |
作为底层胶使用,配合AZ系列光刻胶实现金属剥离
▸ 案例:超导量子比特空气桥电极制作
MEMS器件
▸ 用于制造加速度计、陀螺仪的金电极阵列
▸ 优势:耐受后续深反应离子刻蚀(DRIE)工艺