• 进口SPR220系列SPR220-7.0

    详细信息

     品牌:进口  型号:SPR220-7.0   
    厦门光刻胶     美国光刻胶
    • 作为底层胶使用,配合AZ系列光刻胶实现金属剥离
      ▸ 案例:超导量子比特空气桥电极制作

    • MEMS器件
      ▸ 用于制造加速度计、陀螺仪的金电极阵列
      ▸ 优势:耐受后续深反应离子刻蚀(DRIE)工艺

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    • 二维材料器件
      ▸ 石墨烯接触电极的无损剥离(Cr/Au/Cr叠层)
      ▸ 关键参数:电极边缘粗糙度<5nm(AFM验证)
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