• 进口SML系列SML1000

    详细信息

     品牌:进口  型号:SML1000   
    厦门光刻胶   美国光刻胶
    • 支持微米级以下精细结构加工,关键尺寸(CD)控制能力优异,适用于高精度电子束光刻(EBL)工艺‌
    • 对比度
      曝光区与非曝光区溶解速率差异显著(典型值2-4),图形边缘陡直,减少“锯齿效应”‌
    • 灵敏度
      低曝光剂量即可引发反应(具体数值未公开),适合高效率生产需求‌

    • 抗蚀性
      耐受多种刻蚀环境(如KOH、HF等),保护底层结构免受化学腐蚀‌
    • 热稳定性
      硬烤后保持结构完整性,适用于高温工艺步骤‌
    • 黏附性
      与硅片、玻璃等衬底结合紧密,避免脱胶问题‌

    • 量子器件
      用于超导量子电路电极布线(如约瑟夫森结),耐受低温环境‌
    • 射频器件
      制作GaN HEMT的T型栅极,提升器件截止频率‌
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