- 进口SML系列SML1000
详细信息
品牌:进口 型号:SML1000 - 支持微米级以下精细结构加工,关键尺寸(CD)控制能力优异,适用于高精度电子束光刻(EBL)工艺
- 对比度
曝光区与非曝光区溶解速率差异显著(典型值2-4),图形边缘陡直,减少“锯齿效应” - 灵敏度
低曝光剂量即可引发反应(具体数值未公开),适合高效率生产需求
- 抗蚀性
耐受多种刻蚀环境(如KOH、HF等),保护底层结构免受化学腐蚀 - 热稳定性
硬烤后保持结构完整性,适用于高温工艺步骤 - 黏附性
与硅片、玻璃等衬底结合紧密,避免脱胶问题
- 量子器件
用于超导量子电路电极布线(如约瑟夫森结),耐受低温环境 - 射频器件
制作GaN HEMT的T型栅极,提升器件截止频率