- 进口RE500系列电子束光刻胶RE500.06
详细信息
品牌:进口 型号:RE500.06 - 量子器件:超导量子电路约瑟夫森结(50nm精度)
- 射频器件:GaN HEMT栅极制作,提升截止频率30%
- 二维材料:石墨烯晶体管无损电极(Cr/Au/Cr结构)
- 纳米光子学:等离激元天线(50nm金纳米棒阵列)
挑战 创新方向 边缘粗糙度 原子层沉积辅助工艺优化 有机溶剂残留 超临界CO₂清洗技术
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品牌:进口 | 型号:RE500.06 |
挑战 | 创新方向 |
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边缘粗糙度 | 原子层沉积辅助工艺优化 |
有机溶剂残留 | 超临界CO₂清洗技术 |