• 进口RE500系列电子束光刻胶RE500.06

    详细信息

     品牌:进口  型号:RE500.06   
    厦门光刻胶   美国光刻胶
    • 量子器件‌:超导量子电路约瑟夫森结(50nm精度)‌
    • 射频器件‌:GaN HEMT栅极制作,提升截止频率30%‌

    • 二维材料‌:石墨烯晶体管无损电极(Cr/Au/Cr结构)‌
    • 纳米光子学‌:等离激元天线(50nm金纳米棒阵列)‌

    挑战 创新方向
    边缘粗糙度 原子层沉积辅助工艺优化
    有机溶剂残留 超临界CO₂清洗技术
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