- 进口RE500系列电子束光刻胶RE500.20
详细信息
品牌:进口 型号:RE500.20 分辨率 <10nm(理论极限) 支持纳米级器件加工 对比度 高(具体数值未公开) 确保图形侧壁陡峭度 灵敏度 中等(需优化电子束剂量) 平衡曝光速度与图形保真度 抗蚀性 耐等离子体刻蚀 适应后续刻蚀工艺需求 热稳定性 高温后处理兼容性(具体温度未公开) 支持退火等后制程步骤
- 显影方式:正性显影(曝光部分溶解)
- 适用基材:硅片、玻璃、III-V族化合物半导体等
- 厚度范围:未明确,但电子束胶通常为50-500nm