• 进口RE500系列电子束光刻胶RE500.20

    详细信息

     品牌:进口  型号:RE500.20   
    厦门光刻胶   美国光刻胶
    分辨率 <10nm(理论极限) 支持纳米级器件加工
    对比度 高(具体数值未公开) 确保图形侧壁陡峭度
    灵敏度 中等(需优化电子束剂量) 平衡曝光速度与图形保真度
    抗蚀性 耐等离子体刻蚀 适应后续刻蚀工艺需求
    热稳定性 高温后处理兼容性(具体温度未公开) 支持退火等后制程步骤

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    • 显影方式‌:正性显影(曝光部分溶解)
    • 适用基材‌:硅片、玻璃、III-V族化合物半导体等
    • 厚度范围‌:未明确,但电子束胶通常为50-500nm‌
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