- 进口EM PMMA 电子束光刻胶495K 0.1-1
详细信息
品牌:进口 型号:495K 0.1-1 - 涂覆方式:旋涂法为主,需控制转速以获得均匀膜厚
- 显影液:常用丙酮或异丙醇/水混合溶液(正胶特性)
- 耐温性:长期使用温度≤80℃,热膨胀系数较高
- 纳米结构加工:用于制作50-100nm线宽的金属电极(如T-Gate剥离工艺)
- 多层光刻:常与950K PMMA组成四层光刻胶堆栈(EL-6-PMMA 950K-LOR 5B-PMMA 495K)
- 微机械结构:硅基MEMS器件的金属剥离工艺
- 量子器件:超导量子电路中的约瑟夫森结加工