- 进口SPR 955-CM系列SPR 955-0.7
详细信息
品牌:进口 型号:SPR 955-0.7 胶厚范围 0.7μm(单层) 高精度微纳图案制作 分辨率 0.35μm(极限线宽) MEMS、射频器件电极 粘附性 优异(适合多种基底) 硅片、玻璃、金属基板 工艺类型 正性光刻胶 剥离工艺(Lift-off)
- 显影条件:需配套专用显影液(如AZ 400K系列)
- 烘烤温度:建议90-110℃软烘(避免高温导致胶层龟裂)
- 曝光能量:80-120mJ/cm²(i-line光源)