- 进口SPR 955-CM系列SPR 955-0.9
详细信息
品牌:进口 型号:SPR 955-0.9 光敏类型 正性光刻胶 - 推荐光源 i-line(365nm) - 单层厚度范围 0.7-3.5μm(0.9μm为常用规格) 椭偏仪测量 极限分辨率 0.35μm线宽 SEM验证 粘附性 优异(兼容Si/玻璃/金属基板) 百格测试
- 涂布工艺:
▸ 推荐转速:3000-5000rpm(0.9μm厚度需4000rpm)
▸ 前烘条件:90℃/60s(热板) - 曝光参数:
▸ 能量密度:80-120mJ/cm²(i-line曝光机)
▸ 对位精度:±0.5μm(需校准掩模版) - 显影液:2.38% TMAH水溶液,显影时间30-45s
(2) 性能优势
- 高分辨率:通过分子量控制实现亚微米图形转移
- 低缺陷率:<0.1个/cm²(100级洁净室环境)
- 耐刻蚀性:可耐受RIE干法刻蚀(O₂/CF₄等离子体)
- 涂布工艺: