• 进口SPR 955-CM系列SPR 955-0.9

    详细信息

     品牌:进口  型号:SPR 955-0.9   
    厦门光刻胶   美国光刻胶
    光敏类型 正性光刻胶 -
    推荐光源 i-line(365nm) -
    单层厚度范围 0.7-3.5μm(0.9μm为常用规格) 椭偏仪测量
    极限分辨率 0.35μm线宽 SEM验证
    粘附性 优异(兼容Si/玻璃/金属基板) 百格测试

    • 涂布工艺‌:
      ▸ 推荐转速:3000-5000rpm(0.9μm厚度需4000rpm)
      ▸ 前烘条件:90℃/60s(热板)
    • 曝光参数‌:
      ▸ 能量密度:80-120mJ/cm²(i-line曝光机)
      ▸ 对位精度:±0.5μm(需校准掩模版)
    • 显影液‌:2.38% TMAH水溶液,显影时间30-45s‌

    (2) 性能优势

    • 高分辨率‌:通过分子量控制实现亚微米图形转移
    • 低缺陷率‌:<0.1个/cm²(100级洁净室环境)
    • 耐刻蚀性‌:可耐受RIE干法刻蚀(O₂/CF₄等离子体)
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