SUN-5021P是一款星泰克创新耐刻蚀光刻胶,刻蚀比可以达到0.875(胶:GaN = 4.2:4.8),适合于深刻蚀工艺。SUN-5021P适用于i-线或汞灯全谱曝光,显影后侧边夹角为50-60°,满足客户对图形坡度的要求。
石生
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