- Transene银蚀刻剂TFS
详细信息
型号:TFS 银蚀刻剂TFS
本品为银的选择性蚀刻剂,与阴、阳性光刻胶相匹配,用于微电子薄膜蚀刻电路元件。
特点
• 蚀刻易于控制,边下蚀*低,蚀刻线路轮廓清晰
• 在室温下操作
• 蚀刻速率均匀
• 廉价经济
说明
银蚀刻剂TFS在光刻法制作微电子线路中用于挑选蚀刻银。和光刻胶联合使用,该蚀刻剂可在铝或其他基板的薄膜上制作出精密的电极和电阻图案。其纯度高、钠含量低,0.2微米过滤,适宜用于半导体和微电子产品制作。
银蚀刻剂TFS——不含氰的标准产品
TFS 操作温度 室温 通风 通风橱 搅拌 搅拌以提高蚀刻速率 蚀刻容器 玻璃 时刻速率,25℃ 200Å/秒 组成 含KI-I2络合物,
随手可用溶液PH,20℃ 密度,20℃ 冲洗 蒸馏水或去离子水 匹配光刻胶 阴性和阳性光刻胶 废物处理
(从废液中回收银)根据国家规定的章程进行处理。把废液送到适当废物处理厂
杂质*大含量 (ppm) 钠(Na) 40 氯和溴化物(Cl) 100 铅(Pb) 5 铁(Fe) 3 硫(作为硫酸盐) 50 磷(作为磷酸盐) 10 -