• Transene银蚀刻剂TFS

    详细信息

     型号:TFS    

    银蚀刻剂TFS

    本品为银的选择性蚀刻剂,与阴、阳性光刻胶相匹配,用于微电子薄膜蚀刻电路元件。
     
    特点
     
    • 蚀刻易于控制,边下蚀*低,蚀刻线路轮廓清晰
    • 在室温下操作
    • 蚀刻速率均匀
    • 廉价经济
     
    说明
    银蚀刻剂TFS在光刻法制作微电子线路中用于挑选蚀刻银。和光刻胶联合使用,该蚀刻剂可在铝或其他基板的薄膜上制作出精密的电极和电阻图案。其纯度高、钠含量低,0.2微米过滤,适宜用于半导体和微电子产品制作。
     
    银蚀刻剂TFS——不含氰的标准产品
     
      TFS
    操作温度 室温
    通风 通风橱
    搅拌 搅拌以提高蚀刻速率
    蚀刻容器 玻璃
    时刻速率,25℃ 200Å/秒
    组成 含KI-I2络合物,
    随手可用溶液
    PH,20℃  
    密度,20℃  
    冲洗 蒸馏水或去离子水
    匹配光刻胶 阴性和阳性光刻胶
    废物处理
    (从废液中回收银)
    根据国家规定的章程进行处理。把废液送到适当废物处理厂

     
    杂质*大含量 (ppm)
    钠(Na) 40
    氯和溴化物(Cl) 100
    铅(Pb) 5
    铁(Fe) 3
    硫(作为硫酸盐) 50
    磷(作为磷酸盐) 10

     

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